У 1843 році французький вчений Люсьєн Віді винайшов і виготовив барометр-анероїд, який використовував подовжену пружину для вимірювання атмосферного тиску. У 1849 році Ежен Бурдон отримав патент на манометр з трубкою Бурдона. У 1930 році Вальтер Греф винайшов перший сенсорний механізм, здатний перетворювати механічне зміщення тиску в електричний сигнал. У 1965 році Statham представив тонкоплівковий перетворювач, що характеризується високою стабільністю та низьким гістерезисом, що стало значним технологічним прогресом у вимірюванні високого-тиску. У 1967 році Арт Р. Зіас і Джон Іган подали заявку на патент на кремнієву діафрагму з-обмеженим краєм, започаткувавши нову еру сенсорних технологій; у 1969 році Ганс В. Келлер подав патент на кремнієві датчики-масового виробництва. У 1973 році Вільям Р. Полі подав патент на скляні або кварцові ємнісні датчики; у 1979 році Боб Белл з Kavlico застосував цю технологію до керамічних підкладок, заповнивши прогалину в можливостях вимірювання низького-тиску. У 1994 році японська компанія Yokogawa винайшла технологію однокристалічного кремнієвого резонансного датчика. До 2000 року п’єзорезистивна технологія стала однією з найпоширеніших технологій датчиків тиску, придатних для широкого діапазону тисків і режимів вимірювання.
